一個工(gong)藝(yi)技(ji)術先進的大規(gui)模集(ji)成電路工(gong)廠的硅片制造過程中(zhong)，全(quan)部工(gong)藝(yi)大約要使(shi)用50種不同的電子(zi)氣(qi)體。其中(zhong)大部分為特(te)種氣(qi)體。博(bo)泰小編帶(dai)大(da)家了解特種(zhong)氣體(ti)系統的設計與施工相(xiang)關知識。

一、供氣(qi)系統(tong)的(de)選擇 

1、簡單供(gong)氣系統 

簡(jian)單供(gong)氣(qi)(qi)系(xi)統主要(yao)針對(dui)4英寸(cun)及(ji)以下半導體芯片廠、半導體材料(liao)的科研機構以及(ji)一些單臺的工(gong)藝設備等(deng)。它們(men)的制程(cheng)簡(jian)單，通常不(bu)需要(yao)連續(xu)性供(gong)氣(qi)(qi)，對(dui)氣(qi)(qi)體供(gong)應系(xi)統的投資預算(suan)低。由于氣(qi)(qi)體流量(liang)小，不(bu)經常使用，特種氣(qi)(qi)體氣(qi)(qi)源多采用普通鋼瓶。

輸送系(xi)統(tong)(tong)多采用(yong)半自動(dong)(dong)氣(qi)(qi)瓶柜或氣(qi)(qi)瓶架加簡單的控制(zhi)面(mian)板；配(pei)置繼電(dian)器(qi)控制(zhi)，自動(dong)(dong)切換，手(shou)動(dong)(dong)吹(chui)掃(sao)，手(shou)動(dong)(dong)放(fang)(fang)空，有(you)(you)害性氣(qi)(qi)體(ti)(ti)配(pei)備(bei)緊急切斷閥(fa)。惰性氣(qi)(qi)體(ti)(ti)瓶架則采用(yong)全(quan)手(shou)動(dong)(dong)系(xi)統(tong)(tong)，有(you)(you)些(xie)甚(shen)至用(yong)單瓶系(xi)統(tong)(tong)。所(suo)有(you)(you)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)共(gong)用(yong)一個氣(qi)(qi)體(ti)(ti)房，甚(shen)至沒有(you)(you)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)房，特(te)氣(qi)(qi)鋼瓶和輸送系(xi)統(tong)(tong)有(you)(you)時放(fang)(fang)在(zai)回風夾道，或直接放(fang)(fang)在(zai)工藝制(zhi)造設備(bei)旁(pang)邊或隔壁。如果沒有(you)(you)特(te)別危險氣(qi)(qi)體(ti)(ti)一般共(gong)用(yong)一個抽(chou)風系(xi)統(tong)(tong)。簡單供氣(qi)(qi)系(xi)統(tong)(tong)通常存(cun)在(zai)安全(quan)隱(yin)患。

2、常規供(gong)氣(qi)系統 

常規(gui)供氣(qi)(qi)(qi)(qi)系統(tong)主要(yao)應用于(yu)4-6英寸(cun)大規(gui)模集成電(dian)路廠，50MW以下(xia)的(de)太陽能(neng)電(dian)池(chi)生(sheng)產線，發光(guang)二極管(guan)的(de)芯片工序線以及其它(ta)用氣(qi)(qi)(qi)(qi)量(liang)(liang)中等(deng)規(gui)模的(de)電(dian)子行(xing)業。對氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)純度控制(zhi)的(de)要(yao)求不苛刻(ke)，系統(tong)配(pei)備在滿足安全的(de)前提下(xia)盡(jin)量(liang)(liang)簡單(dan)，節省投資。特(te)種氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)采用普通鋼瓶供氣(qi)(qi)(qi)(qi)。特(te)氣(qi)(qi)(qi)(qi)輸送系統(tong)采用氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶柜。

配置(zhi)全自(zi)動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣(qi)體(ti)面板(ban)采(cai)用氣(qi)動閥門(men)和(he)壓力傳感器，可實現自(zi)動切(qie)換(huan)，自(zi)動氮氣(qi)吹掃，自(zi)動真(zhen)空(kong)輔助放空(kong)；多(duo)重(zhong)安(an)全防護措(cuo)施，泄(xie)漏偵測，遠程(cheng)緊急(ji)切(qie)斷；專(zhuan)用氮氣(qi)吹掃起(qi)源(yuan)等等。VMB采(cai)用支路氣(qi)動閥，氮氣(qi)吹掃，真(zhen)空(kong)輔助排空(kong)。

               

二、氣體(ti)房的選(xuan)擇和設計 

除(chu)了(le)簡單的(de)(de)供氣(qi)(qi)(qi)系(xi)統以外，特氣(qi)(qi)(qi)房(fang)(fang)(fang)一(yi)般都獨(du)立(li)于(yu)主場房(fang)(fang)(fang)而單獨(du)建設，其規劃時需考慮建筑(zhu)物的(de)(de)防火(huo)、泄爆、防火(huo)防爆間距、危險物的(de)(de)總量控制等。常規供氣(qi)(qi)(qi)系(xi)統一(yi)般也采用(yong)多種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)瓶柜共(gong)設在一(yi)個氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)室；而對于(yu)大(da)宗特氣(qi)(qi)(qi)，會根據(ju)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)特性和(he)相容性將氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)房(fang)(fang)(fang)分成可燃(ran)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)房(fang)(fang)(fang)、腐蝕(shi)性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)房(fang)(fang)(fang)、惰性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)房(fang)(fang)(fang)、硅烷(wan)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)房(fang)(fang)(fang)、毒性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)房(fang)(fang)(fang)等。氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)房(fang)(fang)(fang)必須有良好的(de)(de)通風，氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)房(fang)(fang)(fang)的(de)(de)選擇和(he)設計一(yi)般由設計院完成。

三、管道系(xi)統的(de)設計 

1、材料(liao)的(de)(de)選擇特(te)氣管路系統普遍(bian)采用(yong)316L不銹鋼電解(jie)拋光管道，閥(fa)門一(yi)般采用(yong)高純調壓閥(fa)、隔膜閥(fa)、高精密(mi)過濾器、VCR接(jie)頭等(deng)。接(jie)觸氣體(ti)(ti)的(de)(de)管路部件表面(mian)粗糙度可控制在(zai)5uin。對于某些高腐蝕(shi)性的(de)(de)氣體(ti)(ti)如CL2等(deng)，采用(yong)經過特(te)殊處(chu)理的(de)(de)耐腐蝕(shi)強的(de)(de)EP管。

2、輔助系統的設(she)計(ji)氣(qi)體(ti)柜或(huo)控(kong)制面板在安(an)裝和(he)(he)運(yun)輸的過(guo)(guo)程中由于搬運(yun)和(he)(he)震動(dong)，閥(fa)門、接頭、過(guo)(guo)濾(lv)器等的更換、或(huo)其他原因、需要對其重新進行高(gao)壓(ya)氣(qi)密性試(shi)驗和(he)(he)氦檢，氣(qi)體(ti)的置換也需要用到高(gao)壓(ya)氮氣(qi)或(huo)氦氣(qi)，所以特氣(qi)柜需設(she)計(ji)接入高(gao)壓(ya)惰性氣(qi)體(ti)氦氣(qi)或(huo)氮氣(qi)。一(yi)般選擇在特氣(qi)房(fang)設(she)置一(yi)臺或(huo)多(duo)臺惰性氣(qi)體(ti)柜。